爱德华IXH3030T干式真空泵卡死 变频器损坏故障解决

iXH 干式工业级真空泵系统

iXH 系列干泵产品是 Edwards 的市场 iH 产品的，为严苛制程能力 树立了新标准，它在上的许多 300mm 半导体和平板工厂内通过**制程性实现低成本。

可满足 FPD、太阳能、 半导体和 LED 制造业中日益**的气体**要求的 大容量干泵和增压泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外，这些泵还配备多种特性 以在严苛制程中具有大性。

iXH 泵采用模块化设计，符合 当今的制程要求，并且对于前沿工厂中不断涌现的应用挑战 有着路线明确的应对计划。

Edwards爱德华IXH系列半导体真空泵:IXH100、IXH200、IXH200H、IXH500H、IXH500Q、

IXH610、IXH645H、IXH1210、IXH1210H、IXH1220H、 IXH 1820、 IXH1820H、IXH1820T、

IXH3030、IXH3030T、 IXH3045H、IXH4545H、IXH4545HT、IXH6045H、 IXH6045HT、

IXH450H、PXH4500HT、PXH6000、 IXL500Q、IXL500R