真空镀膜设备维修保养注意事项

镀膜设备维修保养注意以下几点：

1、平时整个系统要保持真空状态，工作前才充入气体，不要是真空室长期暴露在大气中；

2、经常检查胶封是否良好，特别是动密封圈，定期给动密封处加上真空脂；

3、定期检查电气元件，清除灰尘，更换烧坏的元、器件；

4、在真空状态下不得拆卸扩散泵和阀门。拆卸的方法是：先将整个真空系统抽至真空状态，注意不要

加热扩散泵，用手动打开精抽阀，然后按放气阀按钮让系统充入大气，当真空室充满大气后就可进行

拆卸扩散泵和阀门；

5、停旋片泵、滑阀泵时，要注意电磁阀（或气动阀）是否向泵腔充气，否则会引起回油，污染真空管

道。因此，电磁阀（或气动阀）充气动作失灵时，必须及时进行修理或更换；

6、对于偏北地区，在寒冷季节，夜间和教长时间停机时，必须用压缩气体将冷却水赶出冷却管道、泵

体，以免冻裂冷却水管（套）、泵体；

7、精抽系统要待真空压强达到3Pa后才能工作，若在过高的压强下进行抽气，会使扩散泵油氧化，降

低抽气能力，缩短泵油的使用寿命；

8、为保证真空镀膜设备有清洁的工作环境，滑阀泵排出的气体必须用管道将它排出工作房之外，因为

从滑阀泵排出的气体含有很多微小的有雾。若不把它排出工作房，则在装被镀的工件时，尽管工件表

面经过认真的清洁处理，仍然很快就会被微小的油雾所污染，严重影响膜层的质量；

9、在工作过程中不得断水，采用的冷却水必须清洁，不得使用硬水或浊水作为冷却水，否则会使冷却

水管沉积一层水垢，影响冷却效果。